反射式膜厚測(cè)量?jī)x

更新時(shí)間：2024-08-16

簡(jiǎn)要描述：

SR系列反射式膜厚儀可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。

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反射式膜厚測(cè)量?jī)x

SR系列反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜，手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。SR可用于測(cè)量2納米到3000微米的膜厚，測(cè)量精度達(dá)到0.1納米。在折射率未知的情況下，還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。

此外，SR還可用于測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠，實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量，每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù)，同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

同時(shí)，客戶還可以通過(guò)軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測(cè)量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測(cè)量卷對(duì)卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合.

產(chǎn)品型號(hào)和系統(tǒng)設(shè)置：

產(chǎn)品型號(hào)	A3-SR-100
產(chǎn)品尺寸	W270D217（H90+H140）
產(chǎn)品圖片
測(cè)試方式	可見(jiàn)VIS 反射(R)
波長(zhǎng)范圍	380nm - 1050 nm
光源	進(jìn)口鎢鹵素?zé)?/span> 壽命10000小時(shí)
光路和傳感器	光纖式(FILBER,進(jìn)口 )+進(jìn)口光譜儀
入射角	0 度 (垂直入射) (0 DEGREE)
參考光樣品	硅片
光斑大小	About 1 mm（標(biāo)配，可以根據(jù)用戶要求配置）
樣品大小	10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置)

光學(xué)測(cè)量技術(shù)參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）

測(cè)試方式

反射

膜厚測(cè)量性能指標(biāo)（THICKNESS SPECIFICATION）：

產(chǎn)品型號(hào)	A3-SR-100
厚度測(cè)量¹	15nm - 100 um
折射率¹（厚度要求）	大于100nm
準(zhǔn)確性²	2 nm 或0. 5%
精度³	0.1 nm

¹表內(nèi)為典型數(shù)值, 實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測(cè)量，實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測(cè)量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測(cè)量小于1秒.

軟件(SOFTWARE)：

檢測(cè)項(xiàng)目	標(biāo)準(zhǔn)型
層數(shù)	10 層
材料	表格型和函數(shù)型
粗糙度模型	有
反射/透射	反射型+透射型
材料庫(kù)	表格型+函數(shù)型
入射角	垂直入射
折射率測(cè)量	有